中国最先进公开EUV光源原型亮相工博会

导读

据解放日报报道，Landau Suiyan 在中国国际工业博览会展出中国最先进的公开 EUV 光源原型，国产化率达 90%，核心部件多为自研，采用与国际龙头相同的技术架构，已具备芯片曝光测试条件。EUV 光源是 sub-7nm 芯片制造三大核心部件之一，长期受海外垄断与出口管制，是中国芯片自主的关键瓶颈。